SFM5400气体质量流量控制器

简要描述：SFM5400是基于SFM5400气体质量流量控制器的无阀流量计。它具有与MFC对应产品相同的性能优势和配置，但不提供控制器功能。

Name: SFM5400气体质量流量控制器
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2026-05-28

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　　1.简介

　　SFM5400是基于SFM5400气体质量流量控制器的无阀流量计。它具有与MFC对应产品相同的性能优势和配置，但不提供控制器功能。

　　2.工作原理

　　基于CMOSens®的SFC5400 / SFM5400通过基于热传递的量热法(calorimetric)原理测量气体质量流量。加热元件位于热绝缘薄膜上，上游和下游分别集成一组热电堆(thermopiles) ,共两组，全部集成在单个硅芯片上。在气体流动时，上游和下游的温度分布会被扰动。然后测量这种不对称性。测量区域以及A/D转换器和进一步的信号处理基于使用CMOS标准工艺的单个芯片

　　基于MEMS的CMOSens技术实现了比传统质量流量控制器中的旁路毛细管直径(0.1至0.5 mm )更大的气体通道截面(约1.5×1 mm² )。这种通道设计使设备对颗粒、堵塞和潮湿气体更加稳健。由于紧凑的单芯片设计及其安装在金属部件之间，基于CMOSens®的传感器对电磁干扰(EMC)具有很强的抗干扰能力。

　　薄膜极小的热质量造就了3-4毫秒的超快传感器响应时间。由于放大、A/D转换、数字线性化和温度补偿的整个设计与该传感器速度相匹配 ,因此可以每毫秒提供一个补偿的流量测量值。结合运行在板载微处理器上的先进控制算法，SFC5400与传统质量流量控制器相比提供了大幅缩短的稳定时间

　　此外，两个温度传感器的特殊布置、片上温

　　度补偿以及噪声源的最小化，带来了在大动态范围内重复性和精度方面性能

　。得益于其的设计， SFC5400 / SFM5400质量流量控制器/流量计表现出零漂移性能，

　　无论环境温度和压力如何变化，都能精确控制/测量真实的质量流量。
CMoSens®SFC5400 /SFM5400质量流量控制器/流量计性能

表l : CMOSens ®SFC5400 / SFM5400质量流量控制器/流量计规格概

所有数据(除非另有说明)适用于以下校准条件:温度 20oC,氮气 (N2 ),水平安装位置(电气连接器在顶部),底部安装连接,对于SFC5400为3.0 bar过压(入口: 4.0 bar绝对压力)对大气(出口: l.0 bar绝对压力),对于SFM5400为<0.2 bar过压。

规格	数值		单位
满量程流量	0.05, 0.l, 0.2, 0.5, l, 2, 5, l0	20, 50, l00	ln/min 或 slm
精度 l 以较大者为准	0.8	l	% 设定点2
精度 l 以较大者为准	0.08	0. l	% 满量程
重复性以较大者为准	0. l	0.2	% 设定点
重复性以较大者为准	0.0l	0.02	% 满量程
典型稳定时间 3	l00 (优化版本为50) 4		ms
测量频率	l000		Hz
控制范围 5 / 测量范围	优于 l,000:l
标准校准气体	Air/N2, H2, O2, He, Ar, CO2	Air/N2, O2
气体换算校准 6	标准: SF6 , C4F8 可按需提供其他气体或混合物 (不兼容强反应性/腐蚀性气体,请参阅接液材料清单或联系我们)

工作温度(环境和气体)	0 - 50 / 32 - l22		oC / oF
零点温度系数	0.005		% 满量程/ oC
量程温度系数	0.06		% 设定点 / oC
满流量时压降SFC5400 SFM5400	< 2.0 / 29 < 0. l / l.5	< 3.0 / 43 < 0.2 / 3	bar / psig
最大入口压力 7	l0 / l45		bar / psig
最大压差8	5 / 73	4 / 58	bar / psig
外部泄漏率 (MFC)	9 x l0_9	9 x l0_6	mbar l/s He
关闭阀门泄漏率	l x l0_6		mbar l/s He
预热时间 9	l		sec

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