简要描述：SEMIFLOW® CO.65外夹式超声波流量计可靠的液体流量测量在半导体工艺管理中起着重要作用。SEMIFLOW CO.65 流量计可有效监测湿法工艺，确保液体保持恒定流量，或在使用点（Point of Use）实现体积定量分配管理。通过实施准确且可靠的流量测量，晶圆厂（Fabs）能够显著提升工艺质量。

SEMIFLOW® CO.65 | 非接触式流量计

用于在硬质塑料管与管道上进行高精度流量测量

可靠的液体流量测量在半导体工艺管理中起着重要作用。SEMIFLOW CO.65 流量计可有效监测湿法工艺，确保液体保持恒定流量，或在使用点（Point of Use）实现体积定量分配管理。通过实施准确且可靠的流量测量，晶圆厂（Fabs）能够显著提升工艺质量。

SEMIFLOW 传感器是经行业验证的先进流量计，兼具坚固设计与创新夹装式（Clamp-on）技术，可消除污染与泄漏风险，从而提高系统稼动率。由于其紧凑外壳内集成电子板与分析单元，流量计小至与单个换能器相当，易于集成到现有工艺链与系统架构中。

SEMIFLOW® CO.65外夹式超声波流量计 测量原理

流量测量 | 超声波时差法

SEMIFLOW 与 SONOFLOW 流量传感器采用超声波时差技术准确测定流量。传感器测量超声波沿液体流向与逆流向的传播时间。两路信号的时间差用于表征流体流速。体积流量由流体速度乘以管路横截面积计算得到。

气泡检测 | 超声波透射法

SONOCHECK ABD06 非接触式气泡传感器通过动态振幅监测检测气泡与堵塞。根据相邻介质的声阻抗不同，界面会发生反射与透射。当气泡通过传感器通道时，透射声波信号幅值下降；幅值下降越大，气泡尺寸越大。

SEMIFLOW® CO.65外夹式超声波流量计

非接触式流量测量

→ 通过管壁进行超声测量

→ 非接触式传感器设计，消除污染与泄漏风险

→ 夹装式上盖与柔性衬垫，确保管道与换能器之间最佳耦合

紧凑的传感器设计

→ 集成电子板与分析单元

→ 易于集成至现有可编程逻辑控制器（PLC）或泵系统

→ 多种传感器尺寸，覆盖广泛管径范围最高耐化学性

→ 外壳材料：均聚聚丙烯（PP-H）；连接器材料：聚酰胺（PA）

→ 非接触式传感器设计，实现无磨损测量

→ 适用于危险环境

最高精度与重复性

→ 精度最高可达 ±1%（Of Reading，读数值）

→ 实时流量测量与体积累计（Totalizing），最大流量可达 400 L / min

→ 可选：SONOTEC 软件，用于传感器操作与调节

详细情况请下载pdf或联系我们！