简要描述：在不同的湿法工艺中，晶圆制造会用到多种磨蚀性、粘附性、腐蚀性以及超纯液体。SONOTEC 的紧凑型传感器凭借非侵入式、非干扰式的测量方式，特别适合用于此类场景中的流量测量与气泡检测，覆盖以下八大应用：• 化学品供应/输送（CCSS/CDS）• 化学机械抛光（CMP）• 光刻• 电镀• 光刻胶涂覆• 抛光液配制/混合• 晶圆/掩膜清洗• 湿法刻蚀

SEMIFLOW CO.65/xxxPI V2.0 传感器采用带柔性衬垫的外夹式设计，可在数毫秒内测量不同直径硬质塑料管内液体的流量。其典型工业应用集中在半导体行业，例如：单晶圆清洗设备、光刻设备、混配设备、化学品供液系统以及浆料输送管路。

传感器与被测介质不接触，亦适用于对卫生要求严格的各类应用场景，如生物技术、制药、化工等行业。借助开关输出，传感器还可用于工业定量投加应用。RS-485 接口（SONOTEC 协议；可通过软件切换为 Modbus）支持总线通信。传感器内置完整电子单元，可直接集成到机器或装置中。

外夹式 SEMIFLOW CO.66/xxxPI Ex1 传感器与 Barrier Box ST Ex1 安全栅箱配套使用，可在数毫秒内检测不同直径硬质塑料管内液体的流量。其典型工业应用与 CO.65 一致，覆盖半导体行业的晶圆清洗、光刻、混配、化学品供液与浆料输送等环节。

传感器与被测介质不接触，亦适用于对卫生要求严格的应用场景。借助开关输出，传感器同样可用于工业定量投加应用。RS-485 接口支持在恶劣环境中进行总线通信，传感器内置完整电子单元，易于集成到机器或装置中。

与 Barrier Box ST Ex1 配套使用时，传感器可防护由气体、蒸气或液体引起的爆炸危险（气体组别 IIB）。设备保护级别为 “Gb"，符合 ATEX、IECEx 与 KTL 标准，可用于 1 区。

Barrier Box ST Ex1 安全栅箱

Barrier Box ST Ex1 是符合 IEC 60079-11（ATEX / IECEx）与 KTL 标准的关联设备，用于连接位于危险区域内、具本质安全特性的 SONOTEC 流量传感器。此类危险区域可能因爆炸性气体环境而存在火灾或爆炸风险（1 区，IIB 组）。

该装置通过限制向传感器提供的能量，避免点燃危险气氛，并提供所需的供电与全部数据线路。借助电流输出与开关输出，Barrier Box ST Ex1 适用于工业定量投加应用。通过 RS-485 接口，该设备还支持在恶劣工业环境中对最多 12 套传感器进行总线通信。