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去离子水供给专用超声波流量计

简要描述:用于液体流量测量的多功能流量计
型号:Flowmax 54i;Flowmax 54i;Flowmax 400i;Flowmax 42i;Flowmax 44i;FlowCon 200i;Flowmax 242i(配第三代一次性传感器本体 Gen3)

基础信息

产品型号

Flowmax

产品厂地

北京市

更新时间

2026-07-03

浏览次数

11
详细介绍
品牌MIB精度等级0.05
款式电子带数显转换器形式一体式
连接方式卫生型连接产地进口
加工定制质保1年

德国MIB Flowmax超声波流量计产品手册

一、代理资质

代理资质

国内总代理德国MIB(Flowmax)全系列超声波流量计,德国原厂直采。

二、品牌简介:德国MIB GmbH

德国MIB GmbH专注研发、生产、销售液体流量测量仪器与一体化流体测控系统,旗下Flowmax®超声波流量计是小口径高精度流量测量产品,拥有18年以上专项技术研发沉淀。

行业落地经验

产品经过多行业长期现场验证,覆盖:半导体、化工、光伏设备、工厂自动化、汽车制造、药剂投加、水处理等领域。

产品设计核心理念

  • 即插即用:安装简单,无需复杂改造

  • 免维护(安装后无需频繁检修):无活动易损件

  • 降本增效:减少设备停机、降低运维与耗材成本

测量核心原理(相位差式超声波)

  1. 管道两端成对安装超声波发射/接收传感器,二者反向对置;

  2. 介质静止时,顺流、逆流声波传播相位一致,无相位差;

  3. 介质流动时,逆流声波传播阻力更大、消耗能量更高,顺/逆流产生相位偏移;

  4. 相位差值与介质流速成正比,结合管道内径即可精准换算实时流量。

三、Flowmax通用核心技术特点

  1. 空管检测+泵保护报警:管道未充满液体、管路堵塞时自动输出信号,联动停泵,保护泵体设备

  2. 无安装方向限制:区别于转子流量计,任意角度均可安装

  3. 全通径流道:中空无涡轮、叶轮等活动部件,杂质不会造成管路堵塞停机

  4. 低压损设计:配套压损曲线数据可查阅

  5. 无介质死角:接触流体部件采用洁净室HP级PFA原料注塑成型,可用于生物制药、食品行业

  6. 测量介质纯液体:大量气泡会影响测量精度,微量气泡可软件滤波处理

  7. 声波传输时间输出(介质识别):通过声波传播时长区分不同液体,用于产线质控,避免错投药剂

  8. 模块化显示选配:少量点位选用带屏机型;多路集中监测选用无屏机型,总线接入PLC管控,控制采购投入

  9. 分体式电子设计:阀体与信号单元分离,线缆最长2m,适配狭小设备安装空间

  10. 多口径、宽流量量程:DN6/10/15/20/25/32/40/50;流量区间0.03~120 L/min、5~900 L/min

  11. 材质与防护:测量管PEHD/特氟龙材质,整机外壳IP65防护

  12. 高精度测量:测量精度<±1%,重复精度0.5%

  13. 高速信号采集:4ms完成一次完整流量运算,每秒250次声波采集,适配隔膜泵、蠕动泵脉动流体

  14. 介质温度范围:标准-20℃~60℃,可选高温版本120℃

  15. 承压能力:流体压力10bar(半导体400i系列标准承压6bar)

  16. 丰富通讯与输出:RS485 Modbus总线、模拟量、数字脉冲、多路报警输出

  17. 出厂校准+现场偏移补偿:每台设备出厂实测校准;测量偏差可软件设置补偿值修正

  18. 内置定量计量与PID闭环控制:自带计量、动态配比、流量监控,单台流量计+阀门即可完成定量灌装,无需配套PLC;支持自定义流量阈值触发信号

  19. 气泡滤波算法:自动过滤瞬时微量气泡带来的测量波动

  20. 内置PT100无接触温度传感器:实时采集介质温度,可输出电流信号用于产线监控

  21. 微小流量适配:支持低至1L/h连续微流量测量,搭配PID阀响应仅0.2s

  22. 防爆认证:现有EEX防爆机型;Zone 1防爆版本研发中

  23. 多路数字输出:脉冲流量、空管报警、定量完成、流量上下限、反向流动、模拟量、RS485通讯

  24. 多功能数字输入端口:支持定量启停、偏差补偿、计数器复位、低流量抑制

四、细分专用机型介绍

  1. Flowmax 242i Bio-Pharma 一次性生物制药


  2. 去离子水供给专用超声波流量计

  3. 2. Flowmax 400i / 54i 半导体高纯介质

    去离子水供给专用超声波流量计

    基础规格

    • 小口径FM400i:PFA材质,DN7~20

    • 大口径机型:DN25~50,PEHD500特氟龙,GF标准螺纹接口

    • 量程:1 L/h ~ 54000 L/h,适配半导体HP高纯工艺

    • 结构:进出口同轴直通,无管路错位,压力损耗低;一体式/分体式电子可选

    • 通径:DN5~10,聚丙烯阀体,符合食品医药认证材质

    • 流量量程:1 L/h ~ 1440 L/h

    • 结构:低压损、紧凑型分体式,阀体与电子单元最远2m,兼容模拟/数字/总线信号

    • 性能:4ms高速流量计算,0.5s完成批量定量流程;声波时长输出用于介质鉴别

    • 调试:手持终端可视化参数编程,带原厂校准数据存档

    • 交付:洁净阀体、双重无菌包装


FM400i PFA 核心适配优势

  1. 全介质接触部件HP洁净室PFA注塑成型,适配超纯化学品、高纯水

  2. 分体式适配高温工况(>60℃)与极小设备安装空间

  3. 分口径流量区间:DN07(0.09~6 L/min)、DN10(0.3~24 L/min)、DN15(0.9~60 L/min)、DN20(1.2~120 L/min)

  4. 适配脉动流体:隔膜泵、蠕动泵输送药液测量稳定,0.2s极速PID联动响应

  5. EMC优化设计,适配洁净车间精密设备环境

  6. 防爆:现有Zone 2防爆机型,Zone1防爆机型规划中

  7. 精度:整机精度<±1%,单台附带原厂校准报告

FM400i PFA 适配介质

高纯度去离子水、各类腐蚀性酸液、浸蚀液、氨水、BOE缓冲蚀刻液、硫酸、盐酸、乙酸等半导体湿法化学品

适用行业场景

  • 半导体湿法设备化学品消耗量监测

  • 液体定量灌装、药剂配比投加

  • 基于声波时长的介质纯度在线分析(产线质量管控)

  • 光伏电池制造、PCB电镀蚀刻生产线

  • 洗涤剂、玻璃加工、精细化工生产

五、半导体行业适配应用场景

  • 化学品供给/输送系统(CCSS/CDS)

  • 化学机械平坦化抛光(CMP)

  • 光刻工艺

  • 电镀制程

  • 光刻胶涂布

  • 浆料配制混合

  • 晶圆/掩膜清洗

  • 湿法刻蚀工艺



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