在工业过程控制、半导体制造和医疗设备等领域，气体流量的精确测量是保障工艺一致性和设备安全性的基础。传统的热式质量流量计虽然应用广泛，但在精度、响应速度、长期稳定性和多气体适应性等方面存在固有局限。瑞士传感器厂商Sensirion凭借CMOSens®芯片级传感技术推出的SFM5400气体质量流量计，将传感元件与信号处理电路集成在单个硅芯片上（MEMS），以0.8%设定点的精度、50毫秒的稳定时间和1000:1的量程比，重新定义了工业级气体流量测量的性能。CMOSens&...

刻蚀是半导体制造中继光刻之后的关键工序，其作用是通过化学或物理方法有选择地去除晶圆表面不需要的材料，将光刻定义的电路图形转移到衬底上。在全部晶圆制造设备投资中，刻蚀设备占比约20%，仅次于光刻设备的30%，是半导体工艺中投入最大的环节之一。刻蚀分为湿法刻蚀和干法刻蚀两大类。湿法刻蚀使用液体化学试剂以化学方式去除材料，但由于在线宽控制、刻蚀方向性和各向异性等方面的局限性，在3μm以下的工艺节点中已基本退出主流。干法刻蚀将晶圆表面曝露于气态等离子体中，通过等离子体与材料表面的物理...

随着半导体制造工艺节点不断缩小，从28nm向7nm、5nm乃至更先进制程推进，晶圆加工过程中的液体流量控制精度要求也在持续提升。在许多关键工艺环节中，液体介质的流量已经从过去的升每分钟级别缩小到毫升每分钟甚至微升每分钟级别。微流量液体流量计作为精确计量和控制这些微小流量的核心仪表，在半导体制造中扮演着越来越重要的角色。微流量通常指流量在数百毫升每分钟以下的液体流量测量场景。在这个流量区间内，传统的涡街流量计因无法产生稳定涡街而失效，电磁流量计因信号微弱而精度不足，差压式流量计...

半导体制造是当今工业领域中工艺复杂、洁净度要求高的生产过程。从晶圆切割、清洗、光刻、蚀刻、化学机械抛光（CMP）到薄膜沉积、离子注入等数十道工序，几乎每一个工艺环节都离不开对流体介质的精准计量与控制。超纯水、各类化学药剂、CMP浆料、工艺气体、冷却水等介质的流量测量，直接关系到工艺一致性、良品率和设备运行安全。由于半导体工况的特殊性——超纯介质不能被污染、腐蚀性药剂要求接液材料惰性、微流量需要高精度、洁净厂房要求免维护——并非所有流量计都能胜任。本文梳理半导体制造中常用的流量...

在各种制造工序中，冷却水和清洗水的流量管理直接关系到产品品质、设备寿命和生产效率。流量不足会导致过热、烧结、刀具破损等故障；流量过多则可能降低加工精度或延长干燥时间。本文梳理制造业中需要进行冷却水、清洗水流量管理的典型工序和设备，并分析各场景的流量管理要点。一、注塑机的模具冷却管理注塑机通过模具冷却水控制成型温度。如果模具冷却不当，会产生毛边（树脂溢出）、短射（缺料）、熔接痕和缩痕等缺陷。通过在冷却水回路安装流量传感器进行模具冷却管理，可以优化料斗浇口的冷却水分配，实现品质稳...

超声波流量计利用超声波在流体中的传播特性测量流量，以其非接触测量、无压力损失、可带压不停产安装等优势，广泛应用于市政供水、工业废水、化工腐蚀介质和热力供暖等场合。但"超声波流量计"并非单一产品，按测量原理和安装方式可分为多种类型，各有不同的技术特点和适用边界。一、按测量原理分类1.时差法（Transit-Time）时差法是超声波流量计的主流技术路线。两个换能器成对安装在管道上，交替发射和接收超声波信号。顺流方向声波与流速叠加，传播加快；逆流方向声波被流速抵消，传播减慢。仪表测...

在医药生产、化学工程、食品加工等领域，精确控制液体的投入量直接影响产品质量、反应效率和成本控制。定量注入（Dosing）是一种通过控制液体流量和注入时间来精确投入所需液体量的技术，确保在一定时间内特定量的液体被输送到目标位置。本文介绍定量注入的基本原理，并对比实现定量注入的两种主要方案——定量控制系统与定量泵浦。一、定量注入的基本原理定量注入系统主要由三部分组成：控制系统：以PLC或专用控制器为核心，接收检测元件反馈的流量信号，根据预设程序控制执行机构的动作，实现注入量的精确...

在工业自动化系统中，流量计、压力传感器等检测元件常需配合警报输出功能使用——当测量值越过预设阈值时触发报警信号，通知控制系统或现场人员采取应对措施。然而，在实际运行中，被测参数往往会在报警设定点附近小幅波动，若报警输出的触发和复位采用同一阈值，传感器读数的微小抖动就会导致警报频繁通断，不仅干扰现场作业，还可能造成继电器寿命缩短和控制系统误动作。迟滞功能正是为解决这一问题而设计的机制。一、什么是迟滞现象迟滞（Hysteresis）是一种系统的输入与输出关系依赖于系统历史状态的现...

DEGASi脱气机属于在线真空脱气设备，核心依靠高透气SystecAF膜管配合闭环真空控制，持续去除流动相、试剂内的溶解氧、氮气、二氧化碳等气体，从源头抑制管路、泵体、检测器内部气泡生成，保障流体系统稳定运行，多用于HPLC、UHPLC、制备色谱、微流控等精密分析平台。稳定输液泵的输送状态是它的基础作用。流动相在泵腔压力变化时，溶解气体容易析出形成气泡，造成泵压波动、流量不准、保留时间漂移。经过DEGASi脱气后，液体溶气量低于饱和阈值，可减少泵内气泡产生，提升流量重复性，降...

超声波流量计在完成流量测量后，需要将测量结果传输给PLC、DCS或数据采集系统。信号接口的选择直接决定了系统能获取的数据丰富程度、传输距离、抗干扰能力以及与上位机的兼容性。目前工业现场常用的流量计信号接口主要有以下几种，各有适用场景和局限性。一、4-20mA模拟电流输出4-20mA电流环是工业自动化领域应用广泛、历史最悠久的模拟信号标准。其原理是将流量测量值线性映射为4~20mA的电流信号：4mA代表零流量（或量程下限），20mA代表满量程。优点：抗干扰能力强，即使在电磁环境...

半导体是导电能力介于导体与绝缘体之间的材料，经加工制成晶圆（wafer），再通过晶片加工成为集成电路（IC）。半导体产业链分为上游IC设计、中游IC制造（晶圆代工）和下游封装测试，其中IC制造是流量计应用最密集的环节。晶圆制程：两大阶段与湿法工艺晶圆制程分为晶圆制造与晶片加工两大阶段。晶圆制造包括纯化、长晶、拉晶、切片和抛光研磨，将硅原料加工为光滑的硅基板。晶片加工则包括气相沉积（CVD）、光阻涂布、曝光、显影、蚀刻、光阻剥除和最终清洗，将电路图案加工到晶圆上制成晶片。其中，...

超声波流量计测量数据需传输至PLC、DCS或监控系统进行实时监控与数据记录。通讯方式的选择直接影响数据完整性、系统兼容性和维护成本。目前超声波流量计常见的通讯方式主要有模拟输出、脉冲/开关信号、ModbusRTU、HART、ModbusTCP和无线通讯六种，各有优劣。一、4-20mA模拟输出4-20mA是工业自动化中传统、普及率较高的模拟信号标准，几乎所有PLC和DCS都原生支持。优势：兼容性强，接线简单（两线制或三线制），电流信号抗干扰能力优于电压信号，适合远距离传输。超声...