聚力半导体先进制造 | 北光仪表邀您共赴 CSEAC 2026 无锡半导体展

2026年8月31日-9月2日，第十四届半导体设备材料及核心部件展（CSEAC 2026）将在无锡太湖国际博览中心盛大举办。

作为半导体设备及核心部件领域的重要行业盛会，本届展会汇聚众多产业链企业，共同探索半导体先进制造技术与产业发展趋势。

空港北光仪表携多款代理品牌流体测量控制产品参展，围绕半导体工艺流体监测领域，展示精密流量测量、真空检测及工艺配套解决方案。

明星产品展示

SONOTEC 系列——半导体行业非接触式超声波传感器

专为半导体晶圆制造中的湿法工艺设计，采用超声波时差法与透射法技术，实现非接触式流量测量与气泡检测

▌流量计产品

SEMIFLOW® CO.65非接触式夹持流量计

专为半导体行业设计，夹装在硬质塑料管外测量，适用于化学品输送、CMP、光刻等工艺

SEMIFLOW® CO.66非接触式夹持流量计-防爆型

与CO.65同系列，适配不同管径；符合ATEX/IECEx认证，适用于1区危险环境

SONOFLOW® IL.52管段式流量计

管段式安装，适用于需要插入式测量的场景

▌检测器产品

SONOCHECK® ABD06气泡检测仪

用于气泡监测与空管检测，保障工艺稳定性

SONOCONTROL 15管路满/空检测器

非接触式液位开关，用于低液位控制、泵保护及溢流指示

Sensirion 质量流量控制器（MFC）

MFC质量流量控制器：用于真空沉积、深反应离子刻蚀（DRIE）等工艺中的气体快速控制与切换，具备超快响应速度与长期稳定性，无需频繁校准。产品还涉及FOUP（晶圆承载器） 环境监控，可集成湿度、氧气、分子污染物传感器。

MIB Flowmax系列管段式超声波流量计

高纯度流量测量系统，采用 PFA 管体或 PP-H 本色、PVDF 管体，专为超高纯度化学品设计。

LORRIC 超声波流量计

FU-ES EchoSense 管夹式超声波流量计：专为小管径非接触测量设计，一体式结构，90秒快速安装，自动侦测管路规格（材质、管厚、液体声速等），橡胶耦合垫替代超声波胶，降低维护难度，满足高精度要求。

德国THYRACONT真空变送器

THYRACONT 真空变送器本身是为半导体制造场景设计的工业级真空测量设备，其全金属密封、多传感器组合、耐腐蚀与工业 4.0 通信等特性高度契合半导体工艺要求。

Analogline™ 模拟真空变送器

经济实用，性价比优先

Smartline™ 数字真空变送器

旗舰，工业4.0就绪