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产品型号
SEMIFLOW® CO.65 -
产品地址
苏州市 -
更新时间
2026-09-28 -
浏览量
250
产品描述
采用超声波时差法测量原理,顺逆流方向传播时间差以皮秒级精度解析,10 ms周期平均处理,实时输出体积流量,满足严苛工艺对响应速度的要求。
产品型号
SEMIFLOW® CO.65产品地址
苏州市更新时间
2026-09-28浏览量
250产品描述
采用超声波时差法测量原理,顺逆流方向传播时间差以皮秒级精度解析,10 ms周期平均处理,实时输出体积流量,满足严苛工艺对响应速度的要求。
产品型号
SEMIFLOW® CO.65产品地址
无锡市更新时间
2026-09-28浏览量
298产品描述
专为半导体湿法工艺设计的高精度非接触式超声波流量计,采用夹装式安装于硬质塑料管外侧,无泄漏与污染风险,有效提升晶圆良率和设备运行时间。
产品型号
SEMIFLOW® CO.65产品地址
北京市更新时间
2026-09-28浏览量
271产品描述
在不同的湿法工艺中,晶圆制造会用到多种磨蚀性、粘附性、腐蚀性以及超纯液体。SONOTEC 的紧凑型传感器凭借非侵入式、非干扰式的测量方式,特别适合用于此类场景中的流量测量与气泡检测,覆盖以下八大应用:• 化学品供应/输送(CCSS/CDS)• 化学机械抛光(CMP)• 光刻• 电镀• 光刻胶涂覆• 抛光液配制/混合• 晶圆/掩膜清洗• 湿法刻蚀
产品型号
SONOFLOW IL 52产品地址
北京市更新时间
2026-09-28浏览量
250产品描述
超低流量超声波流量计串行接口可轻松连接至PLC或计算机。使用SONOTEC软件工具可轻松进行传感器参数设置与校准,并读取测量值。此外,传感器还可连接至远程显示器RD.10用于直接实时监控
产品型号
CO.55产品地址
北京市更新时间
2026-09-28浏览量
288产品描述
SONOTEC夹装式超声波流量计采用超声波时差法精确测定流量。传感器分别测量超声波沿流体流动方向和逆流动方向的传播时间,两个信号之间的时间差即为判断流体流动速度的度量指标。测量以皮秒级精度进行,并以10 ms为周期进行平均处理