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在不同的湿法工艺中，晶圆制造会用到多种磨蚀性、粘附性、腐蚀性以及超纯液体。SONOTEC 的紧凑型传感器凭借非侵入式、非干扰式的测量方式，特别适合用于此类场景中的流量测量与气泡检测，覆盖以下八大应用：• 化学品供应/输送（CCSS/CDS）• 化学机械抛光（CMP）• 光刻• 电镀• 光刻胶涂覆• 抛光液配制/混合• 晶圆/掩膜清洗• 湿法刻蚀
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超低流量超声波流量计串行接口可轻松连接至PLC或计算机。使用SONOTEC软件工具可轻松进行传感器参数设置与校准，并读取测量值。此外，传感器还可连接至远程显示器RD.10用于直接实时监控
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SONOTEC夹装式超声波流量计采用超声波时差法精确测定流量。传感器分别测量超声波沿流体流动方向和逆流动方向的传播时间，两个信号之间的时间差即为判断流体流动速度的度量指标。测量以皮秒级精度进行，并以10 ms为周期进行平均处理
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便携外夹式超声波流量计可在GMP(药品生产质量管理规范)环境下，实现从工艺开发向商业化应用阶段平稳过渡，保障无缝工艺放大转化与工艺连续性
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进口超声波流量计的流量传感器采用超声波时差法精确测定流量。传感器分别测量超声波沿流体流动方向和逆流动方向的传播时间。两个信号之间的时间差即为判断流体流动速度的度量指标
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