项目	内容
品牌	THYRACONT Vacuum Instruments（德国制造）
产品定位	旗舰级智能数字真空变送器
测量范围	1200 ~ 5×10⁻¹⁰ mbar（覆盖粗真空到超高真空）
核心技术	32位ARM微控制器 + 组合传感器（压电/皮拉尼/冷阴极/热阴极）
工业4.0	业内提供OPC UA标准产品，PROFINET支持MRP冗余
认证	CSA/UL 认证

二、核心技术优势

2.1 高效微控制器

采用 32位ARM处理器，支持复杂算法和快速响应，为智能切换、预测性维护等功能提供算力基础。

2.2 可更换传感器头

所有型号支持传感器头现场快速更换，校准数据存储在传感器头内，即插即用，无需重新编程，大幅缩短停机时间。

2.3 组合传感器智能切换技术

THYRACONT 的核心竞争优势之一——在单个壳体内集成多种测量原理，通过智能切换算法实现宽量程连续测量：

自动识别当前压力范围
在各传感器"最佳精度区"之间平滑切换
切换点经过优化，避免读数跳变
单一输出信号，用户无需关心内部切换

以 VSR 为例：>20 mbar 使用压电传感器（气体无关，精度高）→ <20 mbar 切换到皮拉尼传感器（低压灵敏度高），切换过程对用户透明。

2.4 工业4.0就绪

OPC UA 标准：真空测量行业提供 OPC UA 标准产品的制造商
PROFINET 型号支持 MRP（媒体冗余协议），实现从 I/O 层到 ERP 层乃至云端的双向无损数据传输
预测性维护：通过 RS485/PROFINET 实时监测传感器磨损程度、腐蚀状态、上次校准时间及运行小时数，主动规划维护周期

2.5 诊断参数一览

参数	说明与应用
传感器磨损度	0‑100%，接近100%时建议更换传感器头
腐蚀状态	监测传感器内部腐蚀程度，用于腐蚀性环境
运行小时计	累计工作时间，用于计划性维护
放气循环计数	记录从真空到大气压的次数（热阴极型号重要）
上次校准时间	提醒定期校准

三、全型号传感器参数

3.1 型号一览表

型号	传感器技术	测量范围 (mbar)	测量范围 (Torr)	气体相关性	最佳应用
VSR	压电 + 皮拉尼（钨丝）	1200 ~ 1×10⁻⁴	900 ~ 1×10⁻⁴	>20 mbar 无关	标准应用，装载腔、泄漏测试、镀膜
VCR	压电 + 皮拉尼（铂铑丝）	1200 ~ 5×10⁻⁴	900 ~ 5×10⁻⁴	>20 mbar 无关	腐蚀性介质环境
VSL	双压电 + 皮拉尼（钨丝）3合1	绝对：1200~1×10⁻⁴ / 相对：‑1060~+340	900 ~ 1×10⁻⁴	—	半导体装载腔（差压控制）
VCL	双压电 + 皮拉尼（铂铑丝）3合1	绝对：1200~5×10⁻⁴ / 相对：‑1060~+340	900 ~ 5×10⁻⁴	—	腐蚀性介质装载腔
VSP	皮拉尼（钨螺旋丝）	1000 ~ 1×10⁻⁴	750 ~ 1×10⁻⁴	气体相关	精细真空，标准洁净环境
VCP	皮拉尼（铂铑螺旋丝）	1000 ~ 5×10⁻⁴	750 ~ 5×10⁻⁴	气体相关	腐蚀性气体环境
VSI	冷阴极（反向磁控管）	2×10⁻³ ~ 5×10⁻⁹	1.5×10⁻³ ~ 5×10⁻⁹	气体相关	高真空专用
VSM	皮拉尼 + 冷阴极	1000 ~ 5×10⁻⁹	750 ~ 5×10⁻⁹	气体相关	宽范围高真空，真空炉、PVD/CVD镀膜
VSH	皮拉尼 + 热阴极（B‑A型）	1000 ~ 5×10⁻¹⁰	750 ~ 5×10⁻¹⁰	气体相关	超高真空研究、MBE、空间模拟

3.2 精度与响应时间

型号	精度	响应时间
VSR / VCR / VSL / VCL	±15%	< 100 ms
VSP / VCP	±15%	< 100 ms
VSI	±30%	< 1s（冷阴极启动 < 2s）
VSM	±15% / ±30%	< 1s
VSH	±15% / ±10%	< 1s

四、电子与接口规格

4.1 电气参数

参数	规格
供电电压	20‑30 VDC
功耗	最大 2.5W（VSM 3W，VSH 8W）
附加功耗	+0.8W 继电器/LCD，+1.6W PROFINET
工作温度	+5℃ ~ +60℃（PROFINET 型号 +50℃）
存储温度	‑40℃ ~ +65℃
防护等级	最高 IP54
氦泄漏率	< 5×10⁻¹⁰ mbar·l/s
接液材料	不锈钢（VSR: SS 1.4307, W, Ni, 玻璃, 金, 氧化硅；VCR/VCP: 另含 PtRh；VSM: 另含 Mo, Al₂O₃；VSH: 另含 Pt, Ir, 氧化钇）

4.2 通信接口

接口类型	详情
RS485 数字接口（标配）	波特率自动检测 9.6~115 kBd；最多247个设备；最远1200米
0‑10V 模拟输出（标配）	对数输出，1.5V~8.58V 对应测量范围，可通过RS485自定义曲线
EtherCAT（可选）	100 Mbps，μs级同步，菊花链拓扑
PROFINET（可选）	支持 OPC UA、MRP 冗余，西门子PLC生态
蓝牙（可选）	通过 SLKBT 适配器连接

4.3 其他硬件特性

特性	规格
显示屏	可选 LCD 带条形图
继电器输出	2路可配置设定点
真空接口	DN16/25/40 KF，DN16/40 CF
过压能力	4 bar（VSR/VCR/VSI/VSH），10‑16 bar（其他型号）
烘烤温度	125‑180℃（型号相关，需断电）
重量	190‑555g（因型号而异）
控制器兼容	VD12（2通道）/ VD14（4通道）

五、组合传感器详解

5.1 组合方式与量程

组合型号	组合方式	测量范围 (mbar)	切换逻辑
VSR	压电 + 皮拉尼（钨丝）	1200 ~ 1×10⁻⁴	>20 mbar 用压电（气体无关）；<20 mbar 切换皮拉尼
VCR	压电 + 皮拉尼（铂铑丝）	1200 ~ 5×10⁻⁴	同上，耐腐蚀
VSL	双压电 + 皮拉尼（3合1）	绝对+相对压力测量	差压控制
VCL	双压电 + 皮拉尼（3合1）	绝对+相对压力测量	差压控制，耐腐蚀
VSM	皮拉尼 + 冷阴极	1000 ~ 5×10⁻⁹	高压区用皮拉尼，低压区切换冷阴极
VSH	皮拉尼 + 热阴极（B‑A型）	1000 ~ 5×10⁻¹⁰	高压区用皮拉尼，UHV 区切换热阴极

5.2 VSH 热阴极（Bayard‑Alpert）特别说明

VSH 使用 Bayard‑Alpert（B‑A）结构，是超高真空测量的"黄金标准" ：

灯丝材料：钇涂层铱丝（Y₂O₃‑coated Iridium），抗氧化，寿命长
双灯丝设计：一个工作，一个备用，提高可靠性
放气循环：可承受 > 100,000 次放气循环（从 UHV 到大气压）
全金属密封，氦泄漏率 < 5×10⁻¹⁰ mbar·l/s
B‑A 结构优势：收集极设计为细丝，降低X射线极限，使测量下限可达 10⁻¹⁰ mbar 甚至更低

六、软件与移动应用

工具	说明
VacuGraph™	桌面软件，支持 Windows/Linux/Mac，用于数据采集、参数配置、传感器监测
VacuSniff™	移动应用，支持最多16台设备 via 蓝牙连接
PROFINET PICC	配合 PLC 直接访问全部参数

七、典型应用领域

Smartline 系列广泛应用于：

半导体制造（装载腔、刻蚀、CVD/PVD）
薄膜镀膜（PVD、CVD、溅射）
真空炉（热处理、钎焊、烧结）
冷冻干燥（制药、食品）
激光焊接（真空环境焊接）
质谱分析（科研仪器）
研究与开发（表面科学、MBE、空间模拟）

八、快速选型建议

需求场景	推荐型号	理由
标准装载腔/泄漏测试	VSR	压电+皮拉尼组合，覆盖大气到低真空
腐蚀性气体环境	VCR / VCP / VCL	铂铑丝耐腐蚀
半导体装载腔差压控制	VSL / VCL	双压电+皮拉尼3合1，绝对+相对测量
真空炉/PVD/CVD镀膜	VSM	皮拉尼+冷阴极，大气到高真空连续覆盖
超高真空研究（<10⁻⁹ mbar）	VSH	热阴极B‑A型，可测至10⁻¹⁰ mbar
高真空专用（无需低真空）	VSI	纯冷阴极，性价比高
工业4.0智能制造	Smartline 全系列

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简要描述：THYRACONT 是德国真空测量与控制领域的专业厂商，专注真空计/变送器/控制器，覆盖从粗真空到超高真空的宽量程，产品以测量可靠、结构紧凑、易于集成著称。

Smartline™ 德国THYRACONT 旗舰数字真空变送器

一、产品概览

二、核心技术优势

2.1 高效微控制器

2.2 可更换传感器头

2.3 组合传感器智能切换技术

2.4 工业4.0就绪

2.5 诊断参数一览

三、全型号传感器参数

3.1 型号一览表

3.2 精度与响应时间

四、电子与接口规格

4.1 电气参数

4.2 通信接口

4.3 其他硬件特性

五、组合传感器详解

5.1 组合方式与量程

5.2 VSH 热阴极（Bayard‑Alpert）特别说明

六、软件与移动应用

七、典型应用领域

八、快速选型建议

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2.2 可更换传感器头

2.3 组合传感器智能切换技术

2.4 工业4.0就绪

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三、全型号传感器参数

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3.2 精度与响应时间

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